磊晶抛光衬底

 

产品规格书

磊晶抛光衬底

 

材料 

  • ES2 高纯度蓝宝石 (99.996%)

气泡/颜色 

  • 高强度光下目视检测均无

晶界/系属结构 

  • 线偏振光下目视检测均无

晶向 

  • C–面 (0001)
  • A–面 (11-20)
  • R–面 (10-12)
  • M–面 (10-10)
  • 任意

晶向倾斜容差

  • 按客户喜好
  • 最大 6” ±0.05˚
  • 最大 8” ±0.10˚

直径

  • 最大 200 mm

平整度(焦平面偏差)

  • 最大 6” ≤4.0 μm
  • 最大 8” ≤6.0 μm

弯曲度 

  • 最大 6” 0 ± 15 μ
  • 最大 8” 0 ± 20 μm

翘曲度 

  • 最大 6” ≤30 μ
  • 最大 8” ≤40 μm

TTV

  • 最大 8” ≤20 μm

厚度【容差】偏差 

  • 按客户喜好
  • ± 25 μm

业内最佳局部平整度

表面光洁度 

  • 正面 Ra ≤ 0.2 nm
  • 背面 Ra ≤ 1 μm

定位边/凹槽 

  • SEMI/JEITA 标准

边倒角

  • 行业标准

清洁度 

  • 表面无任何色斑
  • 金属和有机污染物含量行业最低

包装 

  • 行业标准的充氮包装盒,在 Class 100 级洁净环境中进行真空密封

可选项

  • 激光标刻,正面和背面
  • 光学抛光面 
  • 单面磊晶抛光
  • 双面磊晶抛光

 


 

可提供未包含在上述列表中的定制规格。

 

蓝宝石磊晶抛光晶圆是超平、超清洁、无应力的抛光衬底,兼具精确晶向和偏移、各晶圆之间均匀一致以及单面或双面抛光等特点。此类蓝宝石晶圆均可定制,以满足客户在最终应用方面的特殊规格要求。  

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